APLICACIONES EN LA INDUSTRIA DE LOS SEMICONDUCTORES

En los últimos años el interés por la aplicación del ozono en la industria de los semiconductores ha aumentado. Su empleo en el proceso de limpieza de los wafers está bien establecido. Aquí el ozono se emplea por su habilidad para oxidar contaminantes tanto orgánicos como metálicos en su fase acuosa. Se están investigando también nuevas aplicaciones que exploten su faceta para oxidar la materia inorgánica así como la orgánica en la fase sólida.

Procesos de la tecnología del ozono:

• Limpieza en húmedo
• TEOS
• CVD
• Limpieza en seco
• Hidrofóbicos

SISTEMA DE OZONO DE ANSEROS SIN METALES PARA EL PROCESADO DE SEMICONDUCTORES. SISTEMAS PAP-SC.

El sistema de Anseros PAP-SC (sin metales) está equipado con un sistema de flujo cruzado. Este sistema completo es una robusta herramienta para los requerimientos en agua ultra pura de esta industria.

Fácil de instalar (Plug & Play) y de dimensiones estándar. El sistema contiene un sub-sistema con un dosificador y un difusor de CO₂,un subsistema de dosificación y desfragmentación de ozono. También dispone de un continuo seguimiento del ozono y un tanque o depósito de procesamiento.

Por favor, contacte con nuestro departamento comercial para más detalles.

SISTEMA PAP-SC-4000

El sistema PAP-SC-400 de Anseros (sin metales) tiene un sistema de control totalmente automático. Paneles de control centralizado mediante un PLC para operaciones programadas, obtención de datos y monitorización global del sistema basado en la tecnología “Plug & Play” y se integra con los requisitos para agua ultra pura. Tiene subsistemas incorporados, por ejemplo el reductor de ozono; los reactores de procesado tienen un mantenimiento asegurado sin problemas.

Por favor, contacte con nuestro departamento comercial para más detalles.